高效過濾器檢漏
一（yī）、說明
過濾（lǜ）網的泄（xiè）漏測試應當（dāng）是無塵室測試中，最複雜、最耗時間的測量項目。泄漏（lòu）測試的目的（de），是要確認（rèn）：
1.濾網（wǎng）的材料無破損，
2.安裝恰當。
濾網出（chū）廠前當（dāng）然要經過（guò）泄漏（lòu）測試，但（dàn）是在搬運與安裝過程難保完全無（wú）損，而且濾網的重要性又大（dà）於一切，因此安裝完畢都要做一次掃描，以確認濾材無任何泄（xiè）漏。另外，若是安（ān）裝不恰當，微粒會從邊框漏進無塵室風口。就算是FFU係統，天花板上是負壓，若是邊框機有微（wēi）粒日後仍舊會產生問題。因此，邊框掃描（miáo）一樣重（chóng）要。濾網泄漏測試基本上是利用濾網上遊的顆粒（lì），然後在濾網下表麵與邊框用微粒探測儀器搜尋有無（wú）泄漏（lòu）。泄漏測（cè）試有幾種不同的方式，適用（yòng）在不同（tóng）的場合。
測試方（fāng）式有：
1.氣（qì）膠光度計測試法，2.微粒計數器測試法，3.全效率測試法，4.外氣測試法。後兩種現在使用非常少。
二、方法
氣溶膠光度計測試法
氣膠光度計測試法是最早（zǎo）期的測試方（fāng）式，但（dàn）是因為效果非常好，到今天仍舊沿（yán）用。氣膠光度計（AerosolPhotometer）是微粒計數器的（de）一種（zhǒng），也是（shì）使用雷射科技，但是（shì）它在掃描（miáo）空氣樣本的微（wēi）粒之後，所（suǒ）給的是微粒的總體強度，不是微粒數目。DOP是一種油性化學物（wù）質，現改用PAO,加（jiā）壓或加熱霧化之後（hòu），可以（yǐ）產生次微米等級的（de）微粒，可用來（lái）模擬無塵室的微粒，因此被當成驗證（zhèng）微粒。
半導體業方麵，早期（qī）也是使用DOP/PAO與（yǔ）氣膠光度（dù）計，但是隨著製造精密度（dù）增加，油性挑戰微粒逐漸（jiàn）不容許在無塵室使（shǐ）用（yòng），因此出（chū）現使（shǐ）用幹式（shì）灰（huī）塵當成挑戰（zhàn）微粒，在上遊（yóu）施放，然後用微粒計數器在下遊掃描（miáo），尋找泄漏，基本概念完全相同。經過科學家一步步研究結果，發現PSL因為（wéi）微粒的粒徑與濃度可以控製，因此（cǐ）是目前最廣為（wéi）使用的（de）標準微粒。使用時隻要把PSL溶液霧化，導入濾網上遊即可
PAO/DOP過濾器檢漏
一.說明
1泄漏的定義是泄漏出上遊濃度萬分之（zhī）一，由於氣膠光度計可以直接顯示上下遊微粒濃（nóng）度的比值，因此掃描濾網非常方便。也正（zhèng）因其準確、可靠，美國食品（pǐn）與藥品管製局（FDA）規定（dìng），在其管轄範圍內（食品加工場所與醫（yī）療製（zhì）藥場所），所有的濾網泄漏測試必（bì）須使用DOP與氣膠光度計。近年來由於人們懷疑（yí）DOP會導致癌（ái）症，因此（cǐ）多改用PAO。PAO和DOP的特性類似，使用上無多大差異。
二.測（cè）試儀器
1本測試法使用儀器為氣膠光（guāng）度計（AerosolPhotometer）與微粒產生器（AerosolGenerator）。氣膠光度計的顯示版有模擬與數字兩種（zhǒng），每年必須校正一次。微粒產生（shēng）器有兩種，一種是普通的微粒產生器，隻要求高壓空氣，另一種是加熱型微粒產生器，要高壓空氣和電源，微粒產生器不需要校正。
三.測試方式（shì）
濾網泄漏測試（shì）的（de）步驟，大致上是施放微粒並檢查濃度、濾網與邊框（kuàng）掃描以發現泄漏、更換或修補（bǔ）、重（chóng）測，其步驟說明如下
在圖麵上記錄濾網數量並編號（hào）。
確定空調係統正常運轉並可供測（cè）試，風（fēng）速與風量必（bì）需調整平衡完畢。
使用氣膠產生器在上遊施放挑戰微粒，將PAO打入濾網上遊，微（wēi）粒濃（nóng）度是大約每公（gōng）升空氣含（hán）有10到20微克的PAO。微粒愈（yù）多愈容易找出泄漏，但是超過50微克以後差別不大，少於10則很難使用。微粒濃度可用風量粗略計算，再用氣膠光度計確認。
上遊（yóu）微粒濃度確認（rèn）後，就可以在濾網表麵掃描，尋找泄（xiè）漏，必要時濾（lǜ）網四周可用塑料簾覆蓋以確保測（cè）試之準（zhǔn）確
在濾網表麵掃（sǎo）描，掃描之（zhī）路徑可（kě）由外（wài）而內或沿長/短邊迂回檢測.
潔淨度測試
一（yī）、說明
潔淨度測試是無塵（chén）室性能測試的核（hé）心，氣流測試、壓力測試，與泄漏測試，都（dōu）隻在確認無（wú）塵室的潔（jié）淨度不受外來影響，因此潔淨度（dù）測試都放在前述幾項測試（shì）都（dōu）通過之後（hòu）。潔淨度（dù）測試（shì）完畢，與落塵有關的性能因素就都測試完畢，其（qí）它測試對潔淨（jìng）度影響不大，或是屬於其它環境測試。
二、測試儀器
潔淨度測試使用微粒計數器，儀器須經校正合格且仍在有效期限（xiàn）內（nèi），交（jiāo）附報告時須附合格之校正文件。微粒計數器有不同規格，最常見的是流量1cfm，最小粒徑可測到0.3mm或（huò）是0.1mm，單位多是立方（fāng）英呎。至於應使用（yòng）何種設備，要依業（yè）主的（de）規範而定。一般（bān）在產業界，多依以下方式（shì）選擇微粒計數器。
Class1000或（huò）更高：0.5μm
Class100：0.3μm，0.5um
Class1到（dào）Class10：0.1μm
若是業主要求的（de）粒徑範圍超過（guò）單一微粒計數（shù）器的範圍，則應該使用兩部微粒計數器。目（mù）前市麵上（shàng）少見立方公尺的微粒計數器，因此若是無塵室的潔淨度是以ISO為基準（zhǔn），則要把結果作換算（suàn）。單位換算，不影響上限的計（jì）算程序。
三、測（cè）試步驟：
(1)確定空調係統之測試調（diào）整與平衡已完（wán）成，濾網之風速及泄漏測試（shì）均已（yǐ）完成，並已修換破損部分。
(2)確認測試位置與測試點（diǎn）數。
(3)取樣（yàng）時間：每點的取樣時間依照（zhào）等級（jí）與粒徑不同而異，若取樣時間小於一分鍾，則以一分鍾為準。
(4)測試（shì）位置應均勻分（fèn）布（bù）在（zài）無塵室內，避免在產生大量粒子之附近，且將檢測儀器以適（shì）當之（zhī）架台支撐，不可以手持支撐。
(5)測量點數以公式計算（與209E相同）。
四、驗收標準：
潔淨度的驗收基準有二，首先是每點（diǎn）的微粒測量平均值必須低於規定值。潔淨度的第二個驗收基準就是，任一（yī）隔間若需使用信賴度上限分析，則該分析值也必須小於規（guī）定值。
風速及平衡性測試
一（yī）、測試（shì）目的
氣流是控製潔淨度與溫濕度的（de）最主要因素，它對噪音也有一些影響。因此風（fēng）速測量，都是放在無塵室測試的第一步。風速測量（liàng）的目的，是確認濾網送出的氣流滿足設（shè）計規範，其次是確認（rèn）氣流的（de）均（jun1）勻度。在某些場合（hé）可能因現場（chǎng）的限製，室內換氣（qì）量還必（bì）須（xū）用風速乘以出口麵積來換算。
單一流向（xiàng）型無塵室，很多都是設計成垂直層流，因此風速均勻度非常重要（yào），隻有均勻的垂直層流，才能有效排除微粒汙染。非單一流向型無塵室，由於微粒控製的觀念是稀釋，不是立即排除，一般而言其換氣量遠比（bǐ）風速重（chóng）要。但是需注明是濾網風速（sù）測量或是無塵室室內風速測量。
二、使用儀器
無塵室裏（lǐ）麵使用（yòng）的HEPA/ULPA濾網，其送出氣流的速度多半都控製在0.5m/s以內，因此（cǐ）所使（shǐ）用的風速計必須是低（dī）速型。濾（lǜ）網風速測量可使用單點式風速計如電子（zǐ）式壓力計配合皮氏管、熱線式風速計。也可以使（shǐ）用（yòng）多點式風速計如ShortridgeVelgrid16點風速計。輪葉式（shì）風速計因使用範圍不同，通常不（bú）在無塵室（shì）內使用。熱（rè）線式風速計（HotWire）雖然高頻響應良好，但是低速時〈0.5m/s以下〉準確性很低，因此不很（hěn）適用，一般（bān）熱反應風速（sù）計常（cháng）用的是Thermeister式風速計。轉輪式風速計由於本身重量問題，也不適用低速（sù）。檢驗儀器須經校（xiào）正合格，且仍在有效期限（xiàn）內。
三、測試步（bù）驟
(1)在圖麵上記錄濾（lǜ）網尺（chǐ）寸、數量並編號。
(2)取樣點位於濾網（wǎng）下方75-150mm處。
(3)每一（yī）個濾網（wǎng）下，若是使用單點式風速計，則每1平方英尺取一點（diǎn）；若是使用多點式風速計，則每4平方（fāng）英尺取一點。
(4)每測量點必須取5秒的平均。
(5)依驗收標準分析所有風速，計算平均值、標準差、相對（duì）標準差，並標明不合格（gé）測試點。
(6)記錄（lù）所有原始數值（zhí），以及（jí）分（fèn）析後的（de）數值。重要的是（shì）在非單一流向型無塵室測試時，特別注意取（qǔ）樣時風速計不可受到幹擾，以免影響準確度。
四、數據（jù）分（fèn）析（xī）
風速測量很簡單（dān），但是均勻度必須由數據分析來判定。均勻度是由相對標
準差來代表，其計算步驟如下。
1. 平均值：2.標準差
風量及平衡性測試
一、說明（míng）
風量測量的目（mù）的通常是用來計（jì）算換氣量，一般是在非單一流向型無塵室，或（huò）是測量空調係統中各式各樣的出風口、回（huí）風口、排氣口等的風量時使用。隻有在無法使用氣（qì）罩的場（chǎng）合（氣罩體積較大，有時會受限製），才能使用風（fēng）速乘以麵積等於風量的方式，用風速來換算風量。使用（yòng）風速換算（suàn）風量時，須（xū）注意出（chū）風口之有效麵積以及修正係（xì）數的（de）取得。在回風口和排氣口，使用換（huàn）算法的（de）準確（què）度非常差，應盡量避免（miǎn）。同樣氣罩通常可以測量送風與回風，正值代表送風，負值代（dài）表回（huí）風或排氣。須注意的是（shì）反向測量時，其測量範圍通常會降低。
二、測試儀器
風量測量應當使用（yòng）氣罩（FlowMeasuringHood），氣罩的測量範圍是15~2500cfm，精確度要求為讀（dú）數的±3%。由於氣罩本（běn）身會產生壓損，因（yīn）此其形狀很重要，應盡量使用原廠氣罩。若有必要自行製造罩（zhào）子，應注意（yì）氣流順暢並且做詳細比對。氣罩的校正非常（cháng）重要，必須主機連同罩（zhào）子一起校正，才能得到準確校正值。檢驗時必須使用校正合格（gé）且仍在有（yǒu）效期限的儀器，於正式檢測前及繳交報告時均須檢附合（hé）格（gé）之校正（zhèng）文件。
三、測試步驟：
(1)在圖麵上記錄濾網尺寸、數量並編號。
(2)使用恰當尺寸氣罩將出風口完全罩住，然（rán）後（hòu）測量與（yǔ）計（jì）錄。
(3)依驗收標準分析所有風量，計算平均值、標準（zhǔn）差、相對標準差，並標（biāo）明不合格測試點。
(4)記錄所有原始數值，以及分析後的數值。
四、數據分析：
風量均（jun1）勻度（dù）的計算與風（fēng）速向同，都是由相對標（biāo）準差來代表，其計算步驟如下。
1.平（píng）均值：將所有風測量量值（zhí）取算數平均
2.標準差：計算所有風測量量值的（de）標準差（chà）
壓差測試
一、說明
壓力測（cè）量的目的是確認無塵室空調係統的壓（yā）力設定。無塵室內維持相當的正壓以維持潔淨度，這已經是個commonsense，在209的舊版本中，正壓有建議值，但是後來就取消了。目前常見的正壓值約是10到（dào）25Pascal之間。壓力測量的時機，應（yīng）該是在風速（sù）、風量、平行度等與氣（qì）流直接相關的測試（shì）結束之後立即測量，尤其（qí）不可在潔淨度測量完畢（bì）之後才測量壓力。因為如果壓力不對，要立刻調整以免（miǎn）影響潔淨度。測量時，所有（yǒu）門窗都必須關上，所有的風扇也必須維（wéi）持正常運（yùn）轉。
二、測試儀器
壓力（lì）測量可使用傾斜管壓力計，指針式壓力計，或是電子式壓力計（jì），總之隻（zhī）要測量範圍（wéi）與精確度滿足要求即可。壓力計（jì）之精確度（dù）要求為讀數的±5%，測量範圍式壓力設計值而定，一般0~5mmAq（0–50Pascal）即可涵蓋（gài）室內（nèi）外壓力差（chà）之測量。儀器需經校正合（hé）格且仍在有效期限內之才可以使用（yòng），檢測（cè）前及交附報告時（shí）均須檢（jiǎn）附合（hé）格之校正文件。
三、測試步驟
必須在風速、風量、氣（qì）流（liú）等測試完成後（hòu），才能測試壓力，並且（qiě）排氣與MAU要完全正常運轉。
全部門與開口都要關閉。室外大氣壓力假設為0.0mmAq表壓力。
測定潔（jié）淨區域與相鄰較次級潔淨區域之壓差，再測量房間與（yǔ）Gowningroom之間壓差，最後測量（liàng）Gowningroom與外部之壓差。
建議壓差值為5~12Pa，並無強製規定。
記錄所有數（shù）值。
溫濕度檢測
一、說明
溫濕度測量的目的是確認（rèn）室內之溫濕度控製在範圍之內，溫濕度對微（wēi）粒控製沒有（yǒu）甚（shèn）麽影響，因此溫濕度測試屬於第三級測試（Level3）。但是（shì）因無塵室多半同（tóng）時（shí）也是環（huán）控室，所以溫濕度常常就一並（bìng）測量了。溫濕度測量又分為一般測量和進階測量（GeneralTestsandComprehensiveTests），一般測量隻是測（cè）量（liàng）溫濕（shī）度在測量點的（de）實時數據（jù）（單一測數據），適用在對溫濕度要求不高的場所。進階測量就要紀錄在測量點一段長時間的溫濕度，目（mù）的是要觀察溫濕度隨時間的變化情形，以確認濕度在控製之下。進（jìn）階測量適用在對溫濕度要求比較高的場所。
二、測（cè）試儀器：
常見（jiàn）的（de）溫濕度儀器是電子式溫度計與鏡麵冷凝光學式濕度計，一般（bān）測量和進階測量使用儀器的精度相同，溫（wēn）度測量範圍是0-100℃，精確是±0.2℃。濕度測量範（fàn）圍是（shì）10﹪到95﹪，精確度是±2﹪。一般測量要求（qiú）溫度之顯示值可顯（xiǎn）示0.1℃的變化，濕（shī）度的顯（xiǎn）示值可顯示1﹪的變化。進階測量則（zé）要求溫度之顯示值可顯示0.05℃的變化，濕的顯示值可顯示（shì）0.1﹪的變化。檢測儀器需校正合格且仍在有（yǒu）效（xiào）期限內者，於（yú）測試前或交附報告時均須檢附合格之校正文件。
三、測試（shì）程序：
確認空調係統已經安裝（zhuāng）完成，並已完成測試、調整、平衡。空調係統測試、調整、平（píng）衡可以平衡風量和水量，使（shǐ）其達到設計要求，為溫濕控製提供正確的運轉環境，因此（cǐ）係統要先平衡才能測試。
依據平麵圖，列（liè）出（chū）各（gè）種溫濕度要求區域，並使係統達到正常運轉（zhuǎn）狀況，係統應在（zài）溫（wēn）濕度自動控製之下，至少運轉24小時以上。
測（cè）試點數為每個（gè）房間至少量一點，並且每個溫濕度控製區至少（shǎo）量一點，例如每個DryCoil的控製範圍要量一點，測量高度為(高架)地板上1.00m。
將溫濕度傳感器放置同一位置，待穩定後開始記錄。
光照（zhào）度測試
一、測前準備
潔淨室所有開孔皆（jiē）需封閉氣密處理完成
測試前空（kōng）調係統應已完成測試、調整、平衡，並（bìng）已連續運轉24小時（shí）以上。 潔淨（jìng）室環（huán）境需清潔完成
二、測試目的
此檢測動作在於確認無塵室照明係統是否有達到設計要求。
三、測試儀器
專業照度儀
四、測試步驟
無塵室光源至少使（shǐ）用100小時（shí）以上，測試前需點亮2小時以上。
確認測試點及配置圖編號。
將照度儀固定置於距離地板上1.2m高度，待數值穩定後量測10秒記錄。
噪音（yīn）度測試
一、檢測（cè）準備（bèi）
竣工圖麵（miàn）（初版）與相關規範確認
潔（jié）淨室所（suǒ）有開孔皆需封閉氣密處理完（wán）成。
測試前空調係統應已（yǐ）完成測試、調整、平衡，並已連（lián）續運轉24小時以上。 潔淨室環境需清潔完（wán）成。
二、測試目的
此檢（jiǎn）測動作在於確認無塵室噪音是否有達到設計要求（qiú）。
三、測試儀器
專業（yè）噪音儀
四、測試位置
每40m2取1點為量測點，另針對業主要求局部增加測試點數（shù）。
五、測試步驟：
a.無塵室所有空調設備及公（gōng）用設備（bèi）均為運轉狀態。
b.確認測試點及配置圖編號。
c.將照度儀固定置於距離地板上1.2m高度，高度量測10秒後記錄最大值。
氣流流（liú）向檢測
一、測試目的
平行（háng）度測量的目的，是（shì）觀察在工作區域裏麵氣（qì）流的運動模（mó）式，同時也可以觀察儀器設備對氣流（liú）的影響。平行度測量應該在氣流的風速與均勻（yún）度都測試完畢且通過之後進行，過早進行可能得不到正確的數據。
二、測試方（fāng）法
一般而言平行度的測量，是由肉眼觀察所決定。使用的工具包括（kuò）煙霧、水霧、PFA、和輕質棉線。。煙霧（wù）或（huò）水霧的共同優點是隻要粒子夠小，煙霧可隨風飄揚，可正確（què）的反映氣流運動模式。但是其共同問題是滯空性不足，觀測時間太短。測（cè）量平行度需要花一些時間，因此需要大量煙霧或水霧，對無塵室可能造成汙染。另一種方（fāng）式是使用輕質細線，讓細線隨風飄舞，然後測量氣流（liú）平行度。在無塵室內（nèi）普遍使用新（xīn）的高（gāo）分子材料Flo-Viz，是用尼龍抽成單絲所製成（chéng），由於質量很輕因此適合作無塵室平行度測（cè）量。測量平行度的方法是立一根鉛垂線（xiàn），然（rán）後在濾網下方施（shī）放煙霧或是安放細（xì）線，之後（hòu）觀察所施放煙霧與鉛垂線的夾角，或是測量細線與鉛垂線的夾角，就可決定氣流的平行度。
三、測試儀器
1.支架2.鉛垂線3.Flo-Viz細線4.氣流流向檢測儀
四、測試（shì）步驟
1.用支架設立垂（chuí）線作為基準線。
2.將細線在室（shì）內懸吊，使其（qí）自然下垂，細線會隨空氣流向飄移。計算偏移角=tan-1(懸吊（diào）線徧移量/1220)。6.每3m×3m區域（yù）量1點。若是使用煙霧，其方式很類似，就是在濾網下施放煙霧，然後將鉛垂線的上端點移動到與煙霧相接觸（chù），將紅線當成煙霧，再計算（suàn）夾角就可以了。
地板導電檢測
一、測試（shì）介紹
導電度可（kě）視為電流流經或繞過某物體之容易程度(relativeease)，電阻（zǔ）的倒數即導電度
二.、測量目的
測量（liàng）地板上點與點之間(FloorPointtoPoint)的電阻（zǔ），和地板與大（dà）地（dì）間(FloortoGround)的電阻
三、PointtoPoint檢測過程
溫濕度需已經測試調（diào）整（zhěng）合（hé）格（gé）
每組數據需（xū）使用兩個電極
電阻計（jì）之開路電壓為500奧姆（mǔ），內阻至少100000奧姆
每（měi）個無塵室至少量5組數據，取平均值
四、FloortoGround檢測過（guò）程
這是測量無塵室地板與接地電極間，導電性的強度。
溫濕度需已經測（cè）試調整合格
電阻計兩端的電極，一個接在地（dì）板上（shàng），另一（yī）個連在最（zuì）接近的建（jiàn）築（zhù）物柱子上
測量位置（zhì）由Owner指定，應有20個位置（zhì）
每（měi）位置取不（bú）同的5點測量，再取平均值（zhí）
平（píng）均之電阻應小於一（yī）百萬（wàn）歐姆
所有的原（yuán）始數據與平均值都需表列於報告中
自淨能力檢測（cè）
一、測試目的
確認在無塵室釋放顆粒後，測量在多（duō）少時間內能恢複到釋放之前的潔淨水平。
二、測試儀器
顆粒測試儀（品（pǐn）牌METONE），型號：3313、2100、顆粒（lì）釋放器。
三、測試位置（zhì）
任意抽取測量點，也可與相關（guān）人員（yuán）共同確認測試點（diǎn）。
四、測試步驟
在測試開始之前要保證淨房空調係統正常運（yùn）轉24以上，讓潔淨環（huán）境達到一個穩定的水平。
在抽（chōu）取的測（cè）量點放好顆粒計數器，先做顆粒潔淨度測試，記錄（lù）該房間每立方英尺體（tǐ）積的空氣中含有的0.3um顆（kē）粒數量，連續測試（shì）數分鍾，待（dài）取一個（gè）穩定的數據，此（cǐ）時，再將該房間（jiān）的整個空調係統全部斷電。
在該房間內釋放顆粒，使於外（wài）界非潔（jié）淨區（qū）域的顆粒自使整個潔淨室0.3um的顆（kē）粒濃度達到之前濃度的10或100倍。此時再啟動空調係統（tǒng），使其正常運行，測（cè）試該（gāi）潔淨室內顆粒濃度恢複到（dào）之前水平所需要的時（shí）間
靜電（diàn）檢測
一、測試目的
靜電問題不是隻有半導（dǎo）體業才有，其它行業也有類似（sì）問題。微小物質上（shàng）若是含有（yǒu）靜電，就會變成非常（cháng）難處理的問題，因為傳輸變的很不容易。另外在無塵室裏麵，若是物體表麵帶（dài）有靜電，就很容易吸引灰塵造成汙染。靜電測試的（de）目地是測量空氣中正離子與負離（lí）子的含量，依此數據可仿真物體在該（gāi）氣流場中之殘餘表（biǎo）麵電（diàn）壓。
二、測試程序
於（yú）無塵（chén）室內離地32英吋(813mm)處，測量（liàng）該位（wèi）置之空（kōng）氣中正離子與負離子的含量，單位是每立方厘米離子數。測量點數：10個，或（huò）由業主自己決定。 在同一位置做殘餘（yú）電壓測試。
