1.潔淨廠房的基本構成
什麽是潔淨室？
內部塵埃（āi）粒子濃度受（shòu）控且分級（jí）的房（fáng）間，該房間是按照一定的方式來設計（jì）、建造和運行（háng），以控製（zhì）房間內粒子的引入、產生和滯（zhì）留。
潔淨廠房的構成
天花板係統：包括吊杆（gǎn）、鋼梁、天花板。
隔牆板：密胺樹脂麵層的牆體板材、彩鋼板麵層的牆體板材。
潔淨門：鋼製門、彩鋼（gāng）板（bǎn）門、不（bú）鏽鋼門。
觀察窗：圓角窗、方角窗
地麵：包括環氧彩砂地麵（miàn）、PVC卷材、環（huán）氧自（zì）流坪。
照明燈具：包括日光燈、黃色燈管等。
潔（jié）淨電（diàn）話
傳遞窗（chuāng）：淨化傳遞窗、普通傳遞窗、VHP傳遞（dì）窗
層流罩
負壓稱量室
隔（gé）離（lí）器和限製進出屏障係統
潔淨室
2.潔淨廠（chǎng）房的分類
按照（zhào）潔淨室（shì）氣流流行劃分為三種：單向流（liú）潔（jié）淨室、非單向流潔淨室、混合流潔淨室。
單向流潔淨室
單向流潔淨室是氣流以均勻的（de）截麵速度，沿著平行流線以單一方向在整個室截麵上通過的潔淨室。適用於A級潔淨室（區），有（yǒu）水平單向流和垂直單向流兩種。
兩種單向流均依賴於末端過濾器的送風（fēng）與回風口接近（jìn）一對一的相對設置，以盡可能保持氣流呈直線。這兩（liǎng）種（zhǒng）單向流能夠保證工藝核心區氣流受（shòu）到的（de）幹（gàn）擾最小。
單向流通過活（huó）塞和（hé）擠壓原理，把灰（huī）塵從一端向另一端（duān）擠壓出去，用潔淨氣流置換汙染氣流。與潔淨氣流相垂直的（de）工作麵上的（de）各個位置都具有相同的潔淨度。
單向流潔淨室
非單向流潔淨室
非單向流潔（jié）淨室是氣流以不均勻的速度呈（chéng）不平行流動，伴有回流或渦流的潔淨室。空氣（qì）經分布於送風麵上的多個過濾器風口送入，並在較遠的位置回風。過濾器（qì）風口可在整個潔淨室（shì）或潔淨區等（děng）距（jù）離分布，也可成組（zǔ）設於工藝核心區上方。過濾器出（chū）風口的（de）位置對（duì）於潔淨（jìng）室的性能非常重要。盡管非單向流係統中（zhōng）的回（huí）風位置不像單向流那麽重要，但為了盡量減（jiǎn）少潔（jié）淨室中的死區，也應注意回風口的布局。
非單向流采用稀釋原理即“髒”的房間空氣與“幹（gàn）淨”的房間空氣不斷的混合（hé），以降低房間內通過紊流混合（hé）的空氣中單位微粒負荷。一般型（xíng）式為高效過濾器送風口頂部送風；回風的型式有下部回風、側下部回風和（hé）頂部（bù）回風等。依不同送風換氣次數，實現不同的淨化級別，其初期投資和運行費用（yòng）也不同。
非單向流潔淨室
混合流潔淨室
混合流潔淨室是在同一房（fáng）間內組合有單向流（liú）和非單向流的潔淨（jìng）室。這種氣流（liú）的特點是將垂直單向流麵積壓縮到最小，用大麵積非單向（xiàng）流替代大麵積單向流用以節省初期投資和運行（háng）費用。
a. 所有的濃度是累積的（de）。例如：ISO5級0.3μm的10200粒（lì）子包含了所有（yǒu）等於（yú）或者（zhě）是超過該（gāi）粒徑的所有粒子。
b. 這些濃度會導致為分級需取大量空氣樣本（běn）。
c. 由於粒子（zǐ）濃度非常（cháng）大，極（jí）限濃度（dù）不適用於表格中的（de）這一區域。
d. 低濃（nóng）度粒子在取樣（yàng）和統（tǒng）計的局限（xiàn）性，會造成分級不當。
e. 由於取樣係統潛在的（de）粒子損失，粒子在低濃度和粒徑大（dà）於1μm時樣品收集的局限性，使的該粒徑（jìng）下的潔淨度級別不適用。
f. 為了規定ISO5級的粒徑，大粒子M描述符可能適用並與至少（shǎo）一種（zhǒng）其他粒徑聯合使用。
g. 該級別僅適用於動態測試。
通過以上表格對比，歐盟潔淨度的要求與（yǔ）中國（guó）基本一致。FDA采用的是100級，1000級，10000級和100000級的要求，並對≥5.0μm的粒（lì）子未做明確的（de）要求。考慮到測試的不確定性，ISO14644-1:2015對（duì）各潔淨級別不同粒（lì）徑粒子（zǐ）濃度限值規定更加慎重，需要考（kǎo）慮更多內容。數據統計方麵，同時取消95%UCL的（de）計算。
