高（gāo）效（xiào）過濾器檢漏
一、說明
過濾網的（de）泄（xiè）漏（lòu）測試應當是無塵室測試中，最複雜、最耗時間的測量項目。泄（xiè）漏測（cè）試的（de）目的，是要確認：
1.濾網的材料無破損（sǔn），
2.安裝恰當。
濾網（wǎng）出廠前當然要（yào）經（jīng）過泄漏測試，但（dàn）是在搬運與安裝過程難保完全無損，而（ér）且濾網的重要性又大於一切，因此安裝完畢都要做（zuò）一次（cì）掃描，以確認濾材無任何泄漏。另外（wài），若（ruò）是安裝不恰當，微（wēi）粒會從邊框漏進無塵室風口（kǒu）。就算是FFU係統，天花板上是負壓（yā），若是邊框機有微粒（lì）日後仍（réng）舊會產生問題。因（yīn）此，邊框掃描一樣重要。濾網泄漏測試基本上是利用濾網（wǎng）上遊的顆粒，然後在濾網下表麵與邊框用微粒探測儀器搜尋有無泄漏。泄（xiè）漏測試有幾種不同的方（fāng）式，適用在不同的場合。
測試方（fāng）式有：
1.氣（qì）膠光度計測試法，2.微粒（lì）計數器測試法，3.全效率測試法，4.外氣測試法。後兩種（zhǒng）現在使用非常少。
二、方法
氣溶膠光度計測試法
氣膠光度計測試（shì）法是最（zuì）早期的測試方式，但是因為效果非常好，到（dào）今天仍舊沿用。氣（qì）膠光度計（AerosolPhotometer）是微粒計（jì）數器的（de）一種，也是（shì）使用雷射科技，但是它（tā）在掃（sǎo）描空氣（qì）樣本的微粒之後，所給的是微粒的總（zǒng）體強度，不是微粒數目。DOP是一種油性化（huà）學物質，現改用PAO,加壓或加熱霧化之後，可以產生次微米等級的微粒，可用來模擬無塵室的微粒，因此（cǐ）被當成驗證（zhèng）微粒。
半導體（tǐ）業方麵（miàn），早期也是使（shǐ）用DOP/PAO與氣膠光度計（jì），但是隨著製造精密度增（zēng）加，油性挑戰微粒（lì）逐漸不（bú）容許在無塵室使用，因此（cǐ）出現使用幹式灰塵當成挑戰微粒，在上遊施放，然後用微粒（lì）計數器在下遊掃描（miáo），尋找泄漏（lòu），基本概念完全相（xiàng）同。經過（guò）科學家一（yī）步步研究（jiū）結果，發現PSL因（yīn）為微粒的粒徑（jìng）與濃度可以（yǐ）控製，因（yīn）此是目前最廣（guǎng）為使用的標準微粒。使（shǐ）用時隻要把PSL溶液霧化，導入濾（lǜ）網上遊即可（kě）
PAO/DOP過濾（lǜ）器（qì）檢（jiǎn）漏
一.說明
1泄漏的定義是（shì）泄漏出上遊濃度萬（wàn）分之一，由於氣膠光度計可以直接顯示上下遊微粒濃度（dù）的比值，因此掃描濾網非常方便。也正因其準確、可靠，美國食品與藥品管製局（FDA）規定，在其管轄範圍內（食品加工場所與醫療製藥場所），所有的濾網泄漏測試必須使用DOP與氣膠光度計。近年來由於人們懷疑DOP會導致癌症，因此多改用PAO。PAO和DOP的特性類似，使用上無多大差異。
二.測試儀器
1本測（cè）試法（fǎ）使用儀器為氣膠光度計（AerosolPhotometer）與微粒產生器（AerosolGenerator）。氣膠（jiāo）光度計的顯（xiǎn）示版有模擬與數字兩種，每年必須校正（zhèng）一次。微粒（lì）產生器有兩種，一種是普通的微粒產生器，隻要求高壓空氣，另一種是加（jiā）熱型微粒產生器，要高壓空氣和電源，微粒產生器（qì）不需要校正。
三.測試方式
濾網泄漏測試的步驟，大致（zhì）上是（shì）施放微粒並檢查濃度、濾網（wǎng）與邊（biān）框掃（sǎo）描以發現泄漏（lòu）、更換或修補、重測，其步驟說（shuō）明如下
在圖（tú）麵上記錄濾網數（shù）量並編號。
確定空（kōng）調（diào）係統正常運轉並可供測試，風速與風量必需調整平衡完畢。
使用氣膠產生器（qì）在上遊施放挑戰微粒，將PAO打入（rù）濾網上遊，微（wēi）粒濃度是大約每公升空氣含有10到20微（wēi）克的PAO。微（wēi）粒愈多愈容易找出泄漏，但是超過50微克以後差別不大，少於10則很（hěn）難使（shǐ）用。微粒濃度可用風量（liàng）粗略計算，再用氣膠光度計確認（rèn）。
上遊微粒濃度確認後（hòu），就可（kě）以在濾網表麵掃描，尋找泄漏，必要時濾網四周可用塑料簾覆蓋以確保測試之準確
在濾網表麵掃描，掃描（miáo）之路徑可由外（wài）而內或沿長/短邊迂回檢測.
潔淨度測試
一、說明
潔（jié）淨度測試是無塵室性能測試的核心，氣流測試、壓力（lì）測（cè）試，與泄漏測試，都（dōu）隻在確認無塵室的潔淨度不受外（wài）來影響，因此潔淨度測試都放在前述幾（jǐ）項測試都通過之後。潔淨度測試完畢（bì），與落塵有（yǒu）關（guān）的性能因素就都（dōu）測試完畢，其它測試（shì）對潔淨度影響不大，或是屬於其它環境測試（shì）。
二、測試儀器
潔淨度測試使（shǐ）用微粒計數器，儀器須（xū）經校正合格且仍（réng）在有效期限內（nèi），交附報告時須附合格之（zhī）校正文件。微粒（lì）計數器有不同規格，最常見的是流量1cfm，最小粒（lì）徑可測（cè）到0.3mm或是（shì）0.1mm，單位多是立方英呎。至於應使用何種設備，要依業主的規範（fàn）而定。一般（bān）在產業（yè）界，多依以下方式選擇微（wēi）粒計數器。
Class1000或更高（gāo）：0.5μm
Class100：0.3μm，0.5um
Class1到（dào）Class10：0.1μm
若是業主要求的粒徑範圍超過單一微粒計數器的範圍，則應該使用兩部微粒計數器。目前市麵上少見（jiàn）立（lì）方公尺的（de）微粒計數器，因此若是無塵室的潔淨度是以（yǐ）ISO為基準，則要把結（jié）果作換算。單位換算，不（bú）影響上限的計算程序。
三、測試步驟：
(1)確（què）定空調係統之測試調整（zhěng）與平衡已完成，濾網之風速及泄漏測試均已（yǐ）完成，並已（yǐ）修換（huàn）破損部分。
(2)確認測試位置與測試點數。
(3)取樣時間：每點的取樣時間依照等級與粒徑不（bú）同而異，若取樣時間（jiān）小於一分鍾，則以一（yī）分鍾為準。
(4)測試位（wèi）置應均勻分布（bù）在（zài）無塵室（shì）內，避免在產生大量粒子之附近，且將檢測儀器以適當之架台（tái）支撐，不可以手持支撐。
(5)測量點（diǎn）數（shù）以公（gōng）式計算（與209E相同）。
四、驗收標準：
潔淨度的驗收基準有二，首先是每點的微粒測量平均值必須低於規定值。潔（jié）淨度（dù）的第二個驗收基準就是，任一隔間若需使用信賴度上限分析，則該分析值也必須小於規定值（zhí）。
風速及平衡性測試
一、測試（shì）目（mù）的
氣流是控製潔淨度與溫濕（shī）度的最主要（yào）因素，它對噪音也有一些影響。因此（cǐ）風速（sù）測量，都是放在無（wú）塵室測試的（de）第一步。風速測量的目的，是確認濾網送出的氣流滿足設計規範，其次（cì）是確認氣流的均勻度（dù）。在某些場合（hé）可（kě）能因現場的限（xiàn）製，室（shì）內換氣量（liàng）還必須用風速乘以出口麵積來換算。
單一流向型無塵室，很多都是設計成垂直層流，因此風速均勻度非常重要，隻有均勻的垂直層流，才能（néng）有（yǒu）效排除微粒汙染。非單一流向型無塵室，由於微粒控製的（de）觀念是稀釋，不是立即排除，一般而言（yán）其換氣量遠比風速重要。但是需注明是濾網風速（sù）測量或是無（wú）塵室室內風速測量。
二、使用儀器
無塵室裏麵使用的HEPA/ULPA濾網（wǎng），其送出氣流（liú）的速度多半都控製在0.5m/s以內，因此所使用的風速計必須是低速型。濾網風速測量可使用單點式風速計如電（diàn）子式壓力計配合皮氏管、熱線式風速計。也可以使用多點式風速（sù）計如ShortridgeVelgrid16點風速計。輪葉（yè）式風速計因使用範圍不同，通常不在無塵室內使用。熱線式風速計（HotWire）雖然高頻響應良好（hǎo），但是低速時〈0.5m/s以（yǐ）下（xià）〉準確（què）性很低，因此不很適用（yòng），一般熱反應風速（sù）計常用的（de）是Thermeister式風速計。轉（zhuǎn）輪式風速（sù）計由於（yú）本身重量（liàng）問題，也不適用低（dī）速。檢驗（yàn）儀器（qì）須經校正合格，且（qiě）仍在有（yǒu）效期限內。
三、測試步驟
(1)在圖麵上記錄濾網尺寸、數量並編號。
(2)取樣（yàng）點位於（yú）濾網下（xià）方75-150mm處。
(3)每一個濾網下，若是使用單點式風速（sù）計，則每1平方英（yīng）尺（chǐ）取一點；若是使用多點式風速計，則每4平方（fāng）英尺取一（yī）點（diǎn）。
(4)每測量點必須取5秒的平均（jun1）。
(5)依驗（yàn）收標準分析所有風（fēng）速，計（jì）算平均值、標準差（chà）、相對（duì）標準差，並標明不合格測試點。
(6)記錄所有原始數（shù）值，以及分析後的（de）數值。重要的是在非單一流向型無塵室測試時（shí），特別注意取樣時風速計不可受到幹擾，以免影響準確度。
四、數據分析
風速測（cè）量很簡單（dān），但是均（jun1）勻度必須由數據分（fèn）析來判（pàn）定。均勻度是（shì）由相對標
準差來代表（biǎo），其計（jì）算步驟如下。
1. 平均值：2.標準差
風量及平（píng）衡（héng）性測試
一、說明
風量測量的目的通常是用來計算換氣量，一般是在非單（dān）一流向型無塵室，或是測量（liàng）空調係統中各式各樣的出風（fēng）口、回風口、排氣口等（děng）的風量時使用。隻有（yǒu）在（zài）無法使用氣罩的場（chǎng）合（氣罩體積較大，有時會受限製），才能使用風速（sù）乘以麵積等於風量的方式，用（yòng）風（fēng）速來換算風（fēng）量。使用風速換算風（fēng）量時，須（xū）注意（yì）出風口之有效麵積以及修正係（xì）數的取得（dé）。在回風口和排氣（qì）口，使用換算（suàn）法的準確度非常差，應盡量避免。同（tóng）樣氣罩通常可以測量送風與回風，正值（zhí）代表送風，負值代表回（huí）風或排氣。須（xū）注意的是反向測量（liàng）時，其測量範圍通常會降（jiàng）低。
二、測試儀器
風量測量應當使用氣罩（FlowMeasuringHood），氣罩的測（cè）量範圍是15~2500cfm，精確（què）度要求為讀數的±3%。由於氣罩本身會產生壓損，因此其形狀很重要，應盡（jìn）量使用原（yuán）廠氣罩。若有必要自行製造罩（zhào）子，應（yīng）注意氣流順（shùn）暢（chàng）並且做詳細比對。氣罩的校正非常重（chóng）要，必須主機連同（tóng）罩子一起校正，才能得到準確（què）校正值。檢驗時必須使用校正（zhèng）合格且仍在有效期限的儀器，於正式檢測（cè）前及繳（jiǎo）交報告時均須檢附（fù）合（hé）格之校正文（wén）件。
三、測試步驟（zhòu）：
(1)在圖麵上記錄濾網尺寸、數量並編號。
(2)使用恰當尺寸氣罩將出風口完全罩住，然後測量與計錄。
(3)依（yī）驗收標準分析所有（yǒu）風量，計算平均值（zhí）、標準差（chà）、相對標準差，並標明不合格測試點。
(4)記錄所（suǒ）有原始數值（zhí），以及分（fèn）析後的數值。
四、數據分析：
風量均勻度的計（jì）算與（yǔ）風速向同，都是由相對標準差來代表，其計算步驟如下。
1.平均值（zhí）：將所有風測量量值取算數平均
2.標準差：計算所有風測量（liàng）量值的標準差
壓差測試
一（yī）、說明（míng）
壓力測量的目的是確認無塵室空調係統的壓力（lì）設定（dìng）。無（wú）塵室內維持相當的正壓以（yǐ）維持潔淨度，這已經是個commonsense，在209的舊版本中，正壓有建議值，但是後來就取消了。目前常見（jiàn）的正壓值約是10到25Pascal之間。壓力測量的時機，應該是在風速、風量、平（píng）行度等與（yǔ）氣流直接相關的測試結束之後立即測量，尤其（qí）不可（kě）在潔淨度測量完畢之後才測量壓力。因為如果壓（yā）力不對，要立刻調整（zhěng）以（yǐ）免影響潔淨（jìng）度。測量時，所有門窗都必須關上，所有的風扇也必須維持正常運轉。
二、測試儀器
壓力測量（liàng）可使用傾斜管壓（yā）力計，指針式壓力計，或是電（diàn）子式壓力計，總之隻要測（cè）量範圍與精確度滿足要求即可。壓力計之精（jīng）確度要求為讀數的±5%，測量範圍式壓力設計值而定（dìng），一般（bān）0~5mmAq（0–50Pascal）即可涵蓋室（shì）內外壓力差之測量。儀器需經校正合格且仍在有（yǒu）效期限（xiàn）內之（zhī）才可以使（shǐ）用，檢測前及交（jiāo）附報（bào）告時均須檢附合（hé）格之校正文件。
三、測試步驟
必（bì）須在風速、風量、氣流等測（cè）試完成後，才能測試壓力，並且排氣與MAU要完全正（zhèng）常運轉。
全部門（mén）與開口都要（yào）關閉。室外大氣壓力假設為0.0mmAq表壓力。
測定潔淨區域與相鄰較次級潔淨區域之壓差，再測量房間與Gowningroom之（zhī）間壓差，最後測量Gowningroom與外部之壓差。
建議壓差值為5~12Pa，並無強製規定。
記錄所有數值。
溫濕度檢測
一、說明
溫濕度測量的目的（de）是確認室內之溫濕度控製在範圍之內，溫（wēn）濕度對微粒控製沒有甚麽影響，因此溫濕度測試屬於第三級測試（Level3）。但是因無塵室（shì）多半（bàn）同時也是環（huán）控室，所以溫濕度常常就一並測量了。溫濕度（dù）測量又分為一般測量和（hé）進階測量（GeneralTestsandComprehensiveTests），一般測量隻是測（cè）量溫（wēn）濕度在測量點的實時數據（jù）（單一測（cè）數據），適用在對溫濕度（dù）要求不（bú）高的場所。進階測量就要紀錄在（zài）測量點一段長時間的溫濕度，目的是要觀察溫濕度隨時（shí）間的變化情形，以確認濕度在控製之下。進階測量適用在（zài）對溫濕度要求（qiú）比較高的（de）場所。
二、測試儀器：
常見的溫濕度儀器是電子式溫度計與鏡麵冷凝光學式濕度計，一般測量和進階測量（liàng）使用儀器的精度相（xiàng）同，溫度測量範圍是0-100℃，精確是±0.2℃。濕度測量範圍是10﹪到95﹪，精確度是±2﹪。一般測量要（yào）求溫度之顯示值可顯示0.1℃的變化，濕度的顯示值可顯示1﹪的變化。進階測量（liàng）則要求溫度（dù）之顯示值可顯示0.05℃的變化，濕的顯示值可顯示0.1﹪的變化。檢測儀器需校（xiào）正合格（gé）且仍在有效期限內者，於測試前（qián）或（huò）交附報告時均須檢（jiǎn）附合（hé）格之校（xiào）正文件。
三、測試程序：
確認（rèn）空調係統已經安（ān）裝完成，並已完成測試、調整、平衡。空（kōng）調係統測試、調整（zhěng）、平（píng）衡可以平衡風（fēng）量和水量，使其達到設計要求，為溫濕控製提供正確的運轉（zhuǎn）環境，因此係統要先平衡才能測試（shì）。
依據平麵圖，列出各種溫濕度要求區域，並使係統達到正常運轉狀況（kuàng），係統應（yīng）在溫（wēn）濕度自動控製之下，至少運轉24小時以上。
測（cè）試點數為（wéi）每個房（fáng）間至少量一點，並且每（měi）個溫濕度控製區至少量一點，例如每個DryCoil的（de）控製範圍要量一點，測量高度為(高架)地板上1.00m。
將溫濕度傳（chuán）感器放置同（tóng）一位置，待穩定後開始記錄（lù）。
光照（zhào）度測試
一、測前準備
潔淨室所有開孔皆需封閉氣密處理完成
測試前空調係統應已（yǐ）完成測（cè）試、調整、平（píng）衡，並已（yǐ）連（lián）續運轉24小時以上。 潔淨（jìng）室環境需清（qīng）潔完（wán）成
二、測試目的
此檢（jiǎn）測動作在於確認無塵室照明係統是否有達到設計要求。
三、測（cè）試儀器
專業照度儀
四、測試步驟
無塵室光源至少使用100小時以上，測試前需點亮2小（xiǎo）時以（yǐ）上。
確認測試點及配置圖編號。
將照度儀（yí）固定（dìng）置於距（jù）離地板上（shàng）1.2m高度（dù），待（dài）數值穩定後量測10秒記錄。
噪音度測試
一、檢測準備
竣工圖麵（初版）與相（xiàng）關規範確認
潔淨（jìng）室所有開孔皆需封閉氣密處理完成（chéng）。
測試前空調係統應已完成測試、調整、平衡，並已連續運轉24小時以上。 潔淨室環境需（xū）清潔完成。
二、測試目的
此檢測動作在於確認無塵室噪音是否有達到設計要求（qiú）。
三、測試儀器
專業噪音儀（yí）
四、測試位置
每40m2取1點為量測點，另針對業主要（yào）求局部增加測試點數（shù）。
五、測試步驟（zhòu）：
a.無塵室所有空（kōng）調設備及公用設備（bèi）均為運轉狀態。
b.確認測試點及配置圖（tú）編號。
c.將照度儀固定置於距離地板上（shàng）1.2m高度，高度量測10秒後（hòu）記（jì）錄最大值。
氣流流向（xiàng）檢測
一（yī）、測試目的
平行度測（cè）量的目的，是觀察在工作區域裏麵（miàn）氣流的運動模式，同時（shí）也可以觀察儀器設備對氣流的影響。平行度測量應該在氣流的風速與均勻度（dù）都測試完畢且通過之後進行，過早進行可能得不到正確的數據。
二、測試方法
一般而言平行度的測量（liàng），是（shì）由肉眼觀察所決定。使用的工具包括煙霧、水霧、PFA、和輕質棉線。。煙霧或水霧的共同（tóng）優點是隻（zhī）要粒子夠小，煙霧可隨風飄揚，可正確（què）的反映氣流運動模式。但是其共同問（wèn）題是滯空性不足，觀測時間太短。測量平行度需要花一些時間（jiān），因此需要大量煙霧或水霧，對無塵室可能造成汙染。另一種方式是使用（yòng）輕質細線，讓細線隨風飄舞，然後測量氣流平行度。在無塵室內普遍使用新的高分子（zǐ）材料（liào）Flo-Viz，是（shì）用尼龍抽成單絲（sī）所製成（chéng），由於質量很輕因此適合作（zuò）無塵（chén）室平行度測量。測量平行（háng）度的方法是立一根鉛垂線，然後在濾網下（xià）方施（shī）放煙霧或是安放細（xì）線（xiàn），之後觀察所施（shī）放（fàng）煙霧與鉛垂線（xiàn）的夾角，或（huò）是測量細線與鉛垂線的夾角（jiǎo），就可決定氣流的平行度。
三、測（cè）試儀器
1.支架（jià）2.鉛垂線3.Flo-Viz細線4.氣流流向檢測儀
四、測試步驟
1.用（yòng）支架設立垂線（xiàn）作為基準線。
2.將細線在室（shì）內懸吊，使其自然下垂，細線會隨空氣（qì）流向飄移。計算偏移角=tan-1(懸吊線徧移量/1220)。6.每3m×3m區域量1點。若是使用煙霧（wù），其方式很類似，就（jiù）是在濾網（wǎng）下施放煙霧，然後將鉛垂線（xiàn）的（de）上端點移動到與煙霧相（xiàng）接觸，將紅線當成煙霧，再計算夾角就可以了。
地板導電檢測
一、測試介紹
導電度可視為電流流經或繞過某物體之容易程度(relativeease)，電（diàn）阻的倒數即導電度
二.、測量（liàng）目的（de）
測量地板上點與點之間(FloorPointtoPoint)的電阻，和（hé）地板（bǎn）與大地（dì）間(FloortoGround)的電阻
三、PointtoPoint檢（jiǎn）測過程
溫濕度需已（yǐ）經測試調整合格
每（měi）組數據需使用兩（liǎng）個電極
電阻計之（zhī）開路電壓為500奧姆（mǔ），內阻至少100000奧姆
每個無（wú）塵室至少量（liàng）5組數據，取平均（jun1）值
四、FloortoGround檢測過程
這是測量無塵室地板與接地電極間，導電性的強度。
溫濕度需已（yǐ）經測（cè）試調整合格
電阻計兩端的電極，一個接在地（dì）板上，另一個連在最接近的建築物柱子上
測量位置由Owner指定，應有（yǒu）20個位置
每（měi）位置取不同的5點測量，再取（qǔ）平均值
平均（jun1）之電阻應小於一百萬歐姆
所有的原（yuán）始數據與平均值都需表列於報告中
自淨（jìng）能力檢測
一、測試目的
確認（rèn）在無塵室釋放顆粒後，測量在多少時間內（nèi）能恢複到釋放之前的潔淨水平。
二、測試儀器
顆粒測試儀（品牌METONE），型號：3313、2100、顆粒釋（shì）放器。
三、測試位置
任意抽取測量點（diǎn），也可與相關人員共同確（què）認測試（shì）點。
四（sì）、測試（shì）步驟
在測試開始之前要保（bǎo）證淨房空調係統正常運轉24以上，讓潔淨環境達到一個穩定（dìng）的（de）水平。
在抽取的測（cè）量點放好顆粒計數（shù）器，先做顆粒潔淨度測試（shì），記錄該房間每立方英尺體積的空氣中含有的（de）0.3um顆粒數量，連續測試數（shù）分鍾，待取一個穩定的數據，此時，再將該房（fáng）間的整個空調係統全部斷電。
在該房間內釋放顆粒，使於外界非潔淨區域的顆（kē）粒自使整個（gè）潔淨室0.3um的顆粒濃度達到之前濃度的（de）10或100倍。此時再啟動空調係（xì）統，使其正常運行，測試該潔淨室內顆粒濃度恢複到之前水平所需要的時間
靜電檢測
一、測（cè）試目的
靜電（diàn）問題不是隻有半導體業才有，其它（tā）行業也有（yǒu）類似問題。微小物質上若是含有靜電，就會變（biàn）成非常難處理的問題，因為傳輸（shū）變的很不容易。另外在無塵室裏麵，若（ruò）是物體表麵（miàn）帶有靜電，就很容易吸引灰塵造成汙染。靜電測試的目（mù）地是測（cè）量空氣中正離（lí）子（zǐ）與負離子的含量，依此數據可仿真物體在該氣流場中之殘餘表（biǎo）麵電壓。
二、測試程序
於無塵室內離地32英吋(813mm)處，測量該位置（zhì）之空氣中正離子與負離子的含量，單位是每立方厘米離子數。測量點數：10個，或由業主自己（jǐ）決定。 在同一位置做殘餘電壓測試。
