潔淨室（shì）各項目檢測方（fāng）法（fǎ）總結

潔淨室各項目檢測方法總結

2019-03-07 16:56:30

高效過濾器檢（jiǎn）漏
一、說明
過濾網（wǎng）的泄漏測試應當是無塵室測試中，最複雜、最耗時間的測（cè）量（liàng）項目。泄漏測試的目的，是要確認：
1. 濾網的（de）材（cái）料無破損，
2. 安裝恰當。
濾網（wǎng）出廠前當然要經過泄漏（lòu）測試，但是在（zài）搬運與安裝過程難保完全無損，而（ér）且濾網的重要性又大於一切，因此安裝完畢都要做一次掃描，以確認濾材無任何泄漏。另外，若是安裝不恰當，微粒（lì）會從邊框漏進無塵室風口。就算是 FFU 係統，天花板上是（shì）負壓，若是邊框機有微粒日後仍舊會產（chǎn）生問題。因此，邊框（kuàng）掃描（miáo）一樣（yàng）重要。濾網泄漏測試基本（běn）上是利用濾網上遊的（de）顆（kē）粒，然後（hòu）在濾網下表麵與邊框用微粒探測儀器搜（sōu）尋有（yǒu）無泄漏。泄漏測試有（yǒu）幾種不同的方式，適（shì）用在不同的場合。
測試方式有：
1. 氣膠光度計（jì）測試法， 2. 微粒計數器測試法， 3. 全效率測試法（fǎ）， 4. 外氣（qì）測試法。後兩種（zhǒng）現在使用非常少。

二、方法
氣溶膠光度計測試法
氣膠光度計測試法是最早期的測試方式（shì），但是因為效果非常好，到今天仍（réng）舊沿用。氣膠光度計（ Aerosol Photometer ）是微粒計數器的一種，也（yě）是使用雷射科技（jì），但是它在掃描空氣樣本的微粒（lì）之後，所給的是微粒的總體強度（dù），不是微粒數目。 DOP 是一種油性化學物質，現改用（yòng）PAO,加壓或加熱霧化之後（hòu），可以產生次微米等級（jí）的微粒，可用（yòng）來模擬無塵室的微粒，因此被當成驗證微粒。微粒計數器測試法
半導（dǎo）體業方麵，早期（qī）也是使用 DOP/PAO 與氣膠光度（dù）計，但是隨（suí）著製造精密度增加，油性挑戰微粒逐漸不容許在無塵室使用，因（yīn）此出現使用幹（gàn）式灰（huī）塵當成挑戰微粒（lì），在（zài）上遊施放（fàng），然後用（yòng）微粒計數器（qì）在下遊掃（sǎo）描，尋找泄漏，基本概念完全相同。經過科（kē）學家一步步研究結果，發現 PSL 因為微粒的粒徑與濃度可（kě）以控（kòng）製，因此是（shì）目前最廣為使用的標準微粒。使用時隻要（yào）把（bǎ） PSL 溶液霧化（huà），導入濾網上遊即可

PAO/DOP過濾器檢漏
一. 說明
氣（qì）膠光度計測試法是最（zuì）早期的測試方式（shì），但是因為效果非常好，到今天（tiān）仍舊沿用。氣膠光度（dù）計（Aerosol Photometer）是微（wēi）粒計數器的一種，也是（shì）使用雷射科技（jì），但是它在掃描空氣樣本的微粒之後，所給的是微粒的總體強度，不是微粒數目。DOP是（shì）一種油性（xìng）化學物（wù）質，加壓或加熱霧化（huà）之後，可以產生次微米等級的微粒，可用來仿真無塵室的（de）微粒，因此被當成驗證微粒。
1 泄漏（lòu）的定義是泄漏出上遊濃度萬分之一，由於氣膠（jiāo）光度計（jì）可（kě）以直接顯示上下遊微粒濃度的比值，因（yīn）此（cǐ）掃描濾網非常方便。也正因其準確、可靠，美國（guó）食品與藥品（pǐn）管製局（FDA）規定，在其管轄範圍內（食品加工場所與醫療製藥場所），所有的濾網泄（xiè）漏測試必須使（shǐ）用DOP與氣膠光度計。近年來由於人們懷疑DOP會導致癌症，因此多改用（yòng）PAO。PAO和DOP的（de）特性類似，使用上無多大差異。
二. 測試儀（yí）器
1 本（běn）測試法使用儀器為氣膠光度計（Aerosol Photometer）與微（wēi）粒（lì）產生器（Aerosol Generator）。氣膠光度計（jì）的顯示版（bǎn）有模擬與數字兩種，每年必須校正一次。微粒產生（shēng）器有兩（liǎng）種，一種（zhǒng）是普通的（de）微粒產生（shēng）器（qì），隻要求高壓空氣，另一種是加熱型微（wēi）粒產生器，要高壓空氣和電源，微粒產（chǎn）生器不需要校正。
三. 測試方式
濾網泄漏測試的步驟（zhòu），大致（zhì）上是施放微粒並檢查濃度、濾網與邊框掃描以發現泄漏、更換或修補、重測，其步驟說明如下
在圖麵（miàn）上記錄濾（lǜ）網數量並編（biān）號。
確定空調係統正常運轉並可供測試，風速與風量必（bì）需調整平衡（héng）完畢。
使用氣膠產生器在（zài）上遊施（shī）放挑戰微粒，將PAO打入濾網上遊，微粒（lì）濃度是大約每公升空氣（qì）含有10到20微克的PAO。微粒愈多愈容易找出泄漏，但是超過50微克以後差別不大，少於10則很難使用（yòng）。微粒濃度可用風量粗略計算，再用氣膠光（guāng）度（dù）計確認。
上遊微粒濃度確認後，就可以在濾網表麵掃描（miáo），尋（xún）找泄（xiè）漏，必要（yào）時濾網四周可用塑料簾覆蓋以確保測試之（zhī）準確（què）
在濾網表麵掃描，掃描之路徑（jìng）可由外而內或沿長/短邊迂回檢測.

潔淨度測試
一（yī）、說明
潔淨度測試是無塵（chén）室性能測試的核心，氣流（liú）測（cè）試、壓力測試，與泄漏（lòu）測試，都隻在確認無塵室的潔淨度不受外（wài）來影響，因此潔淨度測試（shì）都放在前（qián）述幾項測試都通過（guò）之後。潔淨度測試完畢，與落塵有關的性能因素就都測試完畢，其它測試對（duì）潔（jié）淨度影響不大，或是屬於其它（tā）環境測試。
二、測（cè）試儀器
潔淨度測試使用微粒計數器，儀器須經校正合格且仍在有效期限內，交附報告時須（xū）附合格之校（xiào）正文件。微粒計數器有不同規格（gé），最常見的是流量 1cfm ，最小粒（lì）徑可（kě）測到 0.3mm 或是 0.1mm ，單位多是立方英呎。至於應使用何種設（shè）備，要依業主的（de）規範而定。一（yī）般在產業界，多依以下方（fāng）式選擇微粒計數器。
Class 1000 或更高： 0.5μm
Class 100 ： 0.3μm ，0.5um
Class 1 到 Class 10 ：0.1μm
若是業主（zhǔ）要求的粒徑範圍超（chāo）過單一微粒計數器的範圍，則應該使用兩部微粒計數器。目前市麵上少見（jiàn）立方公尺的微粒計數器，因此若（ruò）是無塵（chén）室的（de）潔淨度（dù）是以 ISO 為（wéi）基準，則要把結果作換算。單位換算（suàn），不影響上限的計算程序。
三（sān）、測試步驟：
(1) 確定空調係統之測試調整與平衡已完成，濾網之風速（sù）及泄漏測試均已完成，並已修換破損部分。
(2) 確認測試位置與（yǔ）測試點（diǎn）數。
(3) 取樣時間（jiān）：每點的取樣（yàng）時間依（yī）照等級與粒（lì）徑不同而（ér）異，若取樣時間小於一分鍾，則以一分（fèn）鍾為準。
(4) 測試（shì）位置應均（jun1）勻分布在無塵室內，避（bì）免在產生大量粒子之附近，且將檢測儀器以適當之架台（tái）支撐，不可以手持支撐。
(5) 測量點數以公式計算（與 209E 相（xiàng）同）。
四、驗（yàn）收（shōu）標準：
潔淨度的驗收基準有二，首先是每點的微粒測量平均值（zhí）必須低於規定值。潔淨度的第二個驗收（shōu）基準就是，任（rèn）一隔間若需使用信（xìn）賴度上限分析（xī），則該（gāi）分析值也必須小於（yú）規定值。

風（fēng）速及（jí）平衡性測試
一、測試目的（de）
氣流是控製潔淨度與溫濕度的最主要因素，它對噪音也有一些影響。因此風速測量，都是（shì）放在無塵（chén）室（shì）測試的第一步。風速測量的目的，是確認濾網送出的氣流滿（mǎn）足設計規範，其次是確認氣流的均勻（yún）度（dù）。在某（mǒu）些場合可能因現場的限製，室（shì）內換氣量還必（bì）須用風速乘以出口麵積（jī）來換算。
單一流向型無塵室，很多都是設計成垂直（zhí）層流，因此（cǐ）風速均勻度（dù）非常重要，隻有均勻的垂直層流，才能有效排除微粒汙染。非單一流向型無塵室，由於微粒控製的觀念是稀釋，不是立即排（pái）除，一般而言其換氣量遠比風速重要。但是需注明是濾網風速測量或（huò）是無塵室室內風速測量。
二、使用儀器
無塵室裏麵使（shǐ）用的 HEPA/ULPA 濾網，其送出氣流的速度多半都控製在 0.5m/s 以內，因此所使用的（de）風速計必須是低速型。濾網風速測量可使用（yòng）單點式風（fēng）速計如電子式壓力計（jì）配合皮（pí）氏管、熱線式（shì）風速計（jì）。也可以（yǐ）使用多點式風速計如 Shortridge Velgrid 16 點風速計。輪葉式風（fēng）速計因使用範圍不同（tóng），通常不在無塵室內使用。熱線（xiàn）式風速計（ Hot Wire ）雖（suī）然高頻響（xiǎng）應良好，但是低速時〈 0.5m/s 以下〉準確性很低（dī），因此不很適用，一般熱反應風速計常用的是 Thermeister 式風速計。轉（zhuǎn）輪式風（fēng）速計由於本身重量問題，也不適用（yòng）低速。檢驗儀器須經校正合格，且（qiě）仍在有效期（qī）限內。
三（sān）、測試步（bù）驟
(1) 在圖麵上記錄濾網尺寸、數量並編號。
(2) 取（qǔ）樣點（diǎn）位於濾網下方 75-150mm 處。
(3) 每一（yī）個濾網下，若是使用單（dān）點式風速計（jì），則每 1 平（píng）方英尺取一點；若是使用多點（diǎn）式風速計，則每（měi） 4 平方英尺取一點。
(4) 每測量（liàng）點必須取 5 秒的平均。
(5) 依驗收標準分析所有風速，計算平均值、標準差、相對標準差，並標（biāo）明不合格測試點。
(6) 記錄所有原始數值，以及分析後的數值。重要的是在非單一流向型（xíng）無塵室測試時，特（tè）別注意取樣時風（fēng）速計不可受到幹擾，以免影響（xiǎng）準確度。
四、數據分析
風速測量很簡（jiǎn）單（dān），但是均勻度必須由數據分（fèn）析來判定（dìng）。均勻度是由相對標（biāo）
準（zhǔn）差來代表，其計算步驟如下。
1. 平均（jun1）值：2. 標準差

風量及（jí）平（píng）衡性測試
一、說明（míng）
風量測量的目的通常是用來計算換氣量，一般是在非單一流（liú）向型無塵室，或是測量空調係統中各式（shì）各樣的出風口（kǒu）、回（huí）風口、排氣口等的（de）風量時使（shǐ）用。隻有在無法使用氣罩的場（chǎng）合（氣罩體積較（jiào）大，有時會受限（xiàn）製），才能使用風速乘以麵積等於風量的方式（shì），用風速來換算風量（liàng）。使（shǐ）用風（fēng）速換算風量時，須注意出（chū）風口之有效麵積以及修正（zhèng）係數的取得。在回風口和排氣口，使用換算法的準確度（dù）非常差，應盡量（liàng）避（bì）免。同樣氣罩通常可以（yǐ）測量（liàng）送風與回風，正值代表送風，負值代表回（huí）風或排氣。須注意的是（shì）反向測量時，其測量範圍通常會（huì）降低。
二（èr）、測試儀器
風量測量應當使用（yòng）氣罩（ Flow Measuring Hood ），氣罩的測量範圍是 15~2500 cfm ，精確度要求為讀數的 ±3% 。由於氣罩本身（shēn）會（huì）產生壓損（sǔn），因此其形狀很重要，應盡量使用原廠氣罩。若有必（bì）要自行製造罩子，應注（zhù）意氣流順暢並且做詳細比對。氣（qì）罩的校正非常重要，必須主機連（lián）同罩子一起校正（zhèng），才能得（dé）到準確校正值。檢（jiǎn）驗時必（bì）須（xū）使用校（xiào）正合格且仍在有效期限的儀器，於（yú）正式檢測前及繳交報告時均須檢（jiǎn）附（fù）合格之校正文件。
三、測試步驟（zhòu）：
(1) 在圖麵上記錄濾網尺寸、數量並編號。
(2) 使用恰當尺寸氣罩將出風口完全罩住，然後測（cè）量與計錄。
(3) 依驗收標準分析所有風（fēng）量，計算平均值、標準差、相對標準差，並標明不合格測試（shì）點。
(4) 記錄所有原始數值，以及分析後的數（shù）值。
四、數據分析：
風量均勻度的計算（suàn）與風速向同，都是由相對標準差來代表，其計算步驟如下。
1.平均值：將所有風測量量值取算數平均
2. 標準差：計算所有風（fēng）測量量（liàng）值的標準差

壓差測試
一、說明
壓力測量的（de）目的是確（què）認（rèn）無塵室空調（diào）係統（tǒng）的壓（yā）力（lì）設定。無塵室內維持（chí）相當的正壓以（yǐ）維持（chí）潔淨度，這（zhè）已（yǐ）經（jīng）是個 common sense ，在 209 的舊版本中，正壓有建議值，但是後來就取消（xiāo）了。目前常見的正壓值約是 10 到 25 Pascal 之間。壓力測量的（de）時機，應該是在風速、風量、平行度等與氣流直接相關的測試結束之後立（lì）即測量（liàng），尤其不可在潔淨度測量完畢之後才測量壓力。因為（wéi）如果壓力不對，要（yào）立刻調整以免影響潔淨度。測量時，所有門（mén）窗都必須關（guān）上（shàng），所有的風（fēng）扇也必須（xū）維持正常運轉。
二、測（cè）試儀器
壓力測量可使用傾斜管壓力計，指（zhǐ）針式壓（yā）力計（jì），或是電子式壓力計，總之隻要測（cè）量範圍與精確（què）度滿足要求即可（kě）。壓力計之精確度要求為讀數的 ±5% ，測量範圍式壓力（lì）設計值而（ér）定，一般 0~5mm Aq （ 0–50 Pascal ）即可（kě）涵蓋室內外壓力差之測量。儀器需經校正合格且仍在有（yǒu）效期限內之才可以使用，檢測前及交附報告時均須檢附合格之校正文件。
三、測試步（bù）驟
必須在風（fēng）速、風量、氣流等測試完成後，才能測試壓力，並且排氣與（yǔ） MAU 要（yào）完全正常運轉。
全部門與開（kāi）口都要關閉。室外大氣壓力假設為（wéi） 0.0mmAq 表壓力。
測（cè）定潔淨區域與相鄰較次（cì）級潔淨區（qū）域之壓（yā）差，再測量房間與 Gowning room 之間壓（yā）差（chà），最後測量 Gowning room 與外部之壓差。
建議壓（yā）差值為 5~12Pa ，並無強製規定。
記錄所有數值。

溫濕度檢測
一、說明
溫濕度測量的目（mù）的是確認室內之（zhī）溫濕度控（kòng）製在（zài）範圍之內，溫濕度對（duì）微粒控製沒有甚麽影響，因此溫濕度（dù）測試屬（shǔ）於第三級測試（ Level 3 ）。但是因無塵（chén）室（shì）多半同時也是環控室，所以溫濕度常常就一並測量了。溫濕（shī）度測量（liàng）又分為一（yī）般測量和（hé）進階測量（ General Tests and Comprehensive Tests ），一般（bān）測量隻是測量溫濕度（dù）在測量（liàng）點的（de）實時數據（單一測數據），適用在對溫濕度要求不高的場所。進階測（cè）量（liàng）就要紀錄在測量點（diǎn）一段長時間的（de）溫濕度，目的是要（yào）觀察溫濕度隨（suí）時間的變化（huà）情形，以（yǐ）確認濕度（dù）在控製之下。進階（jiē）測量適用在對溫濕度要求比較高的場所。
二、測試儀器：
常見的溫濕度儀（yí）器是電子式溫度計（jì）與鏡麵冷凝光學式濕度（dù）計，一般測量和進階（jiē）測（cè）量使用儀器的精度相同，溫度測量範圍是 0-100 ℃ ，精確是 ±0.2 ℃ 。濕（shī）度測量範圍是 10 ﹪ 到（dào） 95 ﹪ ，精確度是 ±2 ﹪ 。一般測量要求溫度（dù）之顯示值可顯示 0.1 ℃ 的變化，濕度的顯示值可顯示 1 ﹪ 的變（biàn）化。進階測量（liàng）則要求溫度之（zhī）顯示值可顯示 0.05 ℃ 的變化，濕的（de）顯示值可顯示 0.1 ﹪ 的變化。檢測儀器需校正合格且仍在有效期（qī）限內者，於測試前或交附報（bào）告時（shí）均須檢附合格之校正文件。
三、測試程序：
確認空調係統已經安裝完成，並已完成測試、調整、平衡。空調係統測試、調整、平衡可以平衡風量和水量，使其達到設計要求，為溫（wēn）濕控製提供正確（què）的運（yùn）轉環境，因此係統要先平衡才能測（cè）試。
依（yī）據平麵圖，列出各種（zhǒng）溫濕度要求區域，並使係統（tǒng）達到（dào）正常（cháng）運轉狀（zhuàng）況，係統應在溫濕度自（zì）動（dòng）控製之下（xià），至少運轉 24 小時以上（shàng）。
測試點數為每個房間（jiān）至少量一點，並（bìng）且每個溫濕（shī）度控製區至少量（liàng）一點（diǎn），例如每個 Dry Coil 的控製範圍要量一點，測量（liàng）高度為 ( 高架 ) 地（dì）板上 1.00m 。
將溫濕度（dù）傳感器放置同一位置，待穩定後開始記錄。

光照度測試
一、測前準備
潔淨室所有開孔皆需封閉氣密處（chù）理完（wán）成
測試前空調係統（tǒng）應已完（wán）成測試、調整、平（píng）衡，並已連續（xù）運轉24小時（shí）以上。潔淨室環境需清潔完成
二、測（cè）試目的
此檢測（cè）動（dòng）作在於（yú）確認無塵室照明係統是否有達（dá）到設計要求。
三、測試儀（yí）器
專業照度儀
四、測試步驟
無塵室光（guāng）源至少使用100小時以上，測試前需點亮2小（xiǎo）時以上（shàng）。
確認測試點及配置圖編號。
將照（zhào）度儀固定置於距離地板上（shàng）1.2m高度，待數值穩定後量測10秒記錄。

噪音度測（cè）試
一、檢測準（zhǔn）備
竣工圖麵（初版（bǎn））與（yǔ）相關規範（fàn）確認
潔淨室所有開孔皆需封閉氣密處理完成。
測試前空調係統應已完成測試、調整、平衡，並已連續運轉24小時以上。潔淨室環境需清潔完成。
二、測試目的
此檢測動作在於確認無塵（chén）室噪音是否有達到設計（jì）要求。
三、測試儀器
專業噪音儀
四（sì）、測試位置
每40m2取1點為量測點，另針對（duì）業主要求局部增加測試點數。
五、測試步驟：
a.無塵室所有空調設備及公用（yòng）設備均為運轉（zhuǎn）狀態。
b.確認測試點及配置圖編號。
c.將照度儀固定置於距離地板上1.2m高度，高（gāo）度量測10秒後記錄最大值。

氣流流向檢測
一、測試目的
平行度測量的目的，是觀察在工作（zuò）區域裏麵氣流的運動模式，同時也可（kě）以觀察儀器設備對氣流的影（yǐng）響。平（píng）行度測量應該在氣流的風速與均勻度都測試完畢且通過之後進行，過早進行可能得（dé）不到正確的數據（jù）。
二、測試方（fāng）法
一般（bān）而言平行度的測量，是（shì）由肉眼觀察所決定。使用的工具包括煙霧、水霧、 PFA 、和輕質棉線。。煙霧或水霧的共同優點是隻要粒子夠小（xiǎo），煙霧可（kě）隨風（fēng）飄揚（yáng），可正確的（de）反映氣流運動模（mó）式。但（dàn）是其共同問題是滯空性（xìng）不足，觀測時（shí）間（jiān）太短。測量平行度需要花一些時間，因此需要大量（liàng）煙霧或水霧，對無塵室可能造成汙染。另一種方式是使（shǐ）用輕質細線（xiàn），讓（ràng）細線隨風飄舞，然（rán）後測量氣流平行度。在無塵室內普遍使用新的高分子材料 Flo-Viz ，是（shì）用尼龍（lóng）抽成單絲所製成（chéng），由於質量很輕因此適合作（zuò）無塵室平行（háng）度測量。測量平行度的方法是立一根鉛（qiān）垂線，然後在濾網下方（fāng）施放煙霧或是安放細線，之後觀察所施（shī）放煙霧與鉛垂線的夾角，或（huò）是測量細線與鉛垂線的夾（jiá）角（jiǎo），就可決定（dìng）氣流的平行度。
三、測試儀器
1. 支架 2. 鉛垂線 3.Flo-Viz 細線 4 .氣流流向檢測儀
四、測試步驟
1. 用支架設立垂線作為基準線。
2. 將細線在室內懸吊，使其自然下垂，細線會隨空氣流向飄移。計算偏移（yí）角 =tan-1( 懸吊線徧移量（liàng） /1220) 。 6. 每 3m×3m 區域量 1 點。若是使用煙霧，其（qí）方（fāng）式很類似，就是在濾網下施（shī）放煙霧，然後（hòu）將鉛垂線的上端點移動到與煙霧相接觸，將紅線當成煙霧，再計算夾角就可以了。

地板導電檢測
一、測試介紹
導電度可視為電流流經或繞過某物體之容易（yì）程度（dù） (relative ease) ，電阻的倒數即導電度
二.、測量目的
測量地（dì）板上點與點之間 (Floor Point to Point) 的電阻，和地板與大地間 (Floor to Ground) 的電阻
三、Point to Point 檢測過程
溫濕度需已經測試調整合格
每組（zǔ）數據需使用兩個電極
電阻計之（zhī）開路電壓為（wéi） 500 奧姆，內阻至少 100000 奧姆
每個無塵（chén）室至少量 5 組數（shù）據，取平均值
四、Floor to Ground 檢測過程
這（zhè）是（shì）測量無塵室地板與接（jiē）地（dì）電極間（jiān），導電性的強度。
溫濕度需已經測試調整合格
電阻計兩端的電極，一個接在地板上，另一個連在最接近的（de）建築（zhù）物柱子（zǐ）上（shàng）
測量位置由 Owner 指定，應有 20 個位置
每位置取不同的 5 點測（cè）量，再取平均值
平均之電阻應小於一百萬歐姆
所（suǒ）有的原始數據與平均值都需表列於報告中

自淨能力（lì）檢測
一、測試目的
確認在無塵室釋放顆粒後，測（cè）量在多少時間（jiān）內能恢複到釋放之前的（de）潔淨水平（píng）。
二、測試儀器
顆粒測試儀（品牌 MET ONE），型號：3313、2100、顆粒釋放器。
三、測試位置
任意抽取（qǔ）測量點，也可與相關人員共同確認測試點。
四、測試步（bù）驟
在測試開始之前要保證淨房（fáng）空（kōng）調係統正常運轉24以上，讓潔淨環境達到（dào）一個穩定的水（shuǐ）平（píng）。
在抽（chōu）取的測量點放好顆粒計數器，先做顆粒潔（jié）淨度（dù）測（cè）試，記錄該房間每立方英尺體積的（de）空氣中含有的0.3um顆粒數量，連續測試數（shù）分鍾，待取一個（gè）穩定的（de）數據，此時，再將該（gāi）房間的整個空調係統全部斷電（diàn）。
在該房間內（nèi）釋放顆（kē）粒，使於外界非潔淨區域的顆粒自使整個潔（jié）淨室0.3um的顆粒濃度達到（dào）之（zhī）前濃度的10或100倍。此時再（zài）啟動空調係統，使其正常運行，測試該潔淨室內顆粒濃度恢（huī）複到（dào）之前水平所需要的時間

靜電檢測
一、測試目的
靜電問題不是隻有半導體業才有，其（qí）它行業也有（yǒu）類似問題。微（wēi）小物質上若是含有靜電，就會變成非常難處理的問（wèn）題，因為傳輸變的很不容易。另（lìng）外在無塵室裏麵，若是物體表麵帶（dài）有靜電，就很容易吸（xī）引灰塵造成汙染。靜電測試的目（mù）地是（shì）測量空氣中正離子與負離子的含量，依此數據可（kě）仿真物體在該氣流場中之殘餘表麵電壓。
二、測（cè）試程序
於無塵室內離地 32 英吋 (813 mm) 處，測量該位置之空氣中（zhōng）正離子與負離子的含量，單位是（shì）每立方厘米（mǐ）離子數。測量點數： 10 個，或由業主自（zì）己決定。在同一位置做殘餘電壓測試。

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